1、定期檢查真空儀表，真空獲得設備工作狀態，工作完後，
真空爐需保持在133Pa的真空狀態。
2、設備內部有灰塵或不幹淨時，應用酒精或汽油浸濕過的綢布擦拭幹淨並使幹燥。
3、密封部位的零部件拆裝時，應用航空汽油或酒精清洗，幹燥後塗上真空脂再裝上。
4、設備外表麵應經常擦拭，保持清潔幹淨。
5、電氣控製係統應保持幹淨，無灰塵，定期檢查各緊固電接頭。
6、應經常檢查爐子的絕緣電阻，當絕緣電阻小於1000歐時，則要認真檢查電熱元件，電極與隔熱
層的電阻等。
7、機械傳動件按一般設備潤滑要求，定期加油或換油。
8、真空機組，閥門，儀器儀表等配套件，均按出廠產品所帶的技術說明書予以保養。
注意檢查各循環水流動情況，如發現不流暢及時排除。增加備用水管路，確保突發事故及時供水。
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